负载重量:30kg(纯负载,不含温箱)
台⾯直径:Ф600mm
台⾯平⾯度:0.02mm
台⾯跳动:0.02mm
磁漏:≤3高斯(距台面 10mm 处)
轴线回转精度:±2″
轴线垂直度:±2″
⻆位置定位误差:±2″
三轴相交度:≤Φ0.5mm 直径球内
转角范围:连续无限角度
速率要求:
内轴速率范围 ±0.001°/s~±1000°/s 、中轴速率范围 ±0.001°/s~±200°/s、外轴速率范围 ±0.001°/s~±200°/s、速率分辨率0.001°/
角加速度要求:
内轴角加速度范围>200°/s^2(30KG 负载)、中轴角加速度范围 >100°/s^2(30KG 负载)、外轴角加速度范围 >100°/s^2(30KG 负载)
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